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  • 分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋?原因:負載太大,系統(tǒng)真空度不夠。解決方法:檢查系統(tǒng)。

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