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精密金剛石切割片選什么解決方案? 有懂行的嗎?
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  • 劃片用切割片:在晶體加工后半制程中,待晶圓背面減薄后,貼膜,然后使用高精密超薄金剛石切割片進行劃片加工。切割片可以是有輪轂或無輪轂,制作方法有電鍍、真空釬焊和冷壓燒結(jié)幾種。

  • 采取新的金剛石鍍層和新的鍍層工藝以及在結(jié)合劑中添加微量金屬元素兩者相結(jié)合的新思路來解決上述問題。在結(jié)合劑調(diào)整的基礎(chǔ)上,針對不同鍍層材料和新的工藝方法的試驗研究。經(jīng)反復(fù)篩選試驗,發(fā)現(xiàn)Ti、W、(W+Co)等金屬均能與金剛石形成強碳化物。

  • 將基體對金剛石鑲嵌的機械把持作用,連接優(yōu)化為鑲嵌/釬焊復(fù)合連接,提高了金剛石出刃高度和鋒利度,采用新型釬焊材料與技術(shù)國家重點實驗室研發(fā)的預(yù)合金粉末制備的刀頭切割花崗巖時,切割速度可提高1.5~2倍,鋸片壽命延長1.2~1.6倍。

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