關于實驗室無塵車間的分類:層流式——層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風的,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),三類器械凈化車間施工,不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。復合式——復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
凈化車間的空氣凈化系統(tǒng)要注意什么?山東凈化車間空氣潔凈系統(tǒng)由風淋室、氣閘室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺、FFU及生物安全柜等設備組成,其安裝要求應按設備技術文件進行;安裝設備的地面應平整,環(huán)境清潔,設備安裝前應擦去內外表面的塵土和油污,設備經檢驗合格后應立即安裝,盡快完工;設備在安裝就位后應保持其縱軸垂直、橫軸水平并有防移位措施,機械式余壓閥的安裝,閥體、閥板的轉軸均應水平,允許偏差為2/1000,余壓閥的安裝位置應在室內氣流的下風側,并不應在工作面高度范圍內。
無塵車間的特殊優(yōu)勢。無塵車間可以將潔凈氣流盡快的分布到整個潔凈區(qū),然后以此來沖淡室內污染源塞不的塵、菌以及對空氣的污染,從而達到生產環(huán)境所要求的潔凈度。不但如此,無塵車間還能將污染源盡快的在室內排出,減少塵、菌在室內的停留時間,縮小不潔物質跟產品接觸的幾率。無塵車間是指控制產品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度,以便產品能夠在良好的環(huán)境中生產和制造。這個環(huán)境空間的設計和建造過程可以稱為凈化工程。
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