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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司

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  • 主營業(yè)務(wù):貴金屬材料
  • 公司官網(wǎng):www.dcgjs.cn
  • 公司地址:沈陽市沈河區(qū)文化東路89號(hào)
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在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出來.而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對(duì)靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒,金銅靶材廠家,這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外,薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大,金銅靶材報(bào)價(jià),過99.995%(4N5)純度的銅靶,或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求,但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求。

金屬靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。

簡(jiǎn)單說的話,例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜......鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

應(yīng)用于顯示屏的阻擋層或調(diào)色層,筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等.

什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?

?綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。

?1.壓接:采用壓條,金銅靶材,一般為了提高接觸的良好性,會(huì)增加石墨紙、Pb或In皮;

?2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術(shù)。

?3.導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。

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